技术 — MEMS 加速度计

加速度计是测量静态(重力)和动态(运动或振动)加速度的机电装置。MEMS 加速度计的开发彻底改变了加速度计的应用,使其变得体型更小,功耗更低,更容易集成到各种应用领域。MEMS 加速度计现在可用于汽车、飞机、工业应用、手机等 — 事实上,几乎无处不在。

 

各种各样的 MEMS 加速度计

 

面向各种应用领域的MEMS 加速度计大大增强了这些器件的功能。然而,并非所有的 MEMS 加速度计都适用于每一种应用领域。有些 MEMS 加速度计适合手机或其它消费电子产品的低成本、低性能应用领域,而有些则是针对高精度、高性能的应用领域,如飞机导航等。

Colibrys 加速度计技术使我们能够生产当前可用的最高性能 MEMS 加速度计,它们适合于极高精度和稳定性的应用,如地震传感器、振动检测和监控、惯性导航加速度计以及非常精确的倾斜感应加速度计等。

请参见下文我们的技术培训内容摘录,了解 MEMS 技术与其他技术的对比情况:

 

Colibrys电容式 MEMS 加速度计相对于其它技术的优势

 

MEMS 加速度计的体硅技术

Colibrys 高性能 MEMS 加速度计采用了两项重要技术:体硅微加工技术和电容式感应技术。此外,Colibrys 拥有自主定制设计的高性能 ASIC,可以作为加速度计的补充。

体硅微加工的优势意味着,我们只使用物理性能几近完美的最佳品质材料来制造加速度计。我们的制造工艺经过精心设计,可确保我们在最终产品中保持这些几近完美的性能。

能够将加速度转换为电信号的 MEMS 技术主要有三种,即压电式技术、压阻式技术和电容式技术。我们选择了电容式感应技术,因为它的长期稳定性最佳,而且灵敏度卓越。正因为如此,我们的高性能传感器可用于一些要求最苛刻且需要 MEMS 传感器的应用领域。

请参见下文我们的技术培训内容摘录,了解 MEMS 电容式加速度计 — 体硅微加工对比表面微加工: